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高壓放大器在MEMS光柵控制驅(qū)動測試中的典型應(yīng)用

       微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS, Micro-Electro-Mechanical System),也叫做微電子機(jī)械系統(tǒng)、微系統(tǒng)、微機(jī)械等,是在微電子技術(shù)(半導(dǎo)體制造技術(shù))基礎(chǔ)上發(fā)展起來的,融合了光刻、腐蝕、薄膜、LIGA、硅微加工、非硅微加工和精密機(jī)械加工等技術(shù)制作的高科技電子機(jī)械器件。

     ATA-2000系列高壓放大器在MEMS光柵控制驅(qū)動測試中的典型應(yīng)用的原理:

微機(jī)電系統(tǒng)是集微傳感器、微執(zhí)行器、微機(jī)械結(jié)構(gòu)、微電源微能源、信號處理和控制電路、高性能電子集成器件、接口、通信等于一體的微型器件或系統(tǒng)。MEMS是一項(xiàng)創(chuàng)造性的新技術(shù),廣泛應(yīng)用于高新技術(shù)產(chǎn)業(yè),是一項(xiàng)關(guān)系到國家的科技發(fā)展、經(jīng)濟(jì)繁榮和國防科技的關(guān)鍵技術(shù)。

MEMS側(cè)重于超精密機(jī)械加工,涉及微電子、材料、力學(xué)、化學(xué)、機(jī)械學(xué)諸多學(xué)科領(lǐng)域。它的學(xué)科面涵蓋微尺度下的力、電、光、磁、聲、表面等物理、化學(xué)、機(jī)械學(xué)的各分支。

MEMS是一個(gè)獨(dú)立的智能系統(tǒng),可大批量生產(chǎn),其系統(tǒng)尺寸在幾毫米乃至更小,其內(nèi)部結(jié)構(gòu)一般在微米甚至納米量級。常見的產(chǎn)品包括MEMS加速度計(jì)、MEMS麥克風(fēng)、微馬達(dá)、微泵、微振子、MEMS光學(xué)傳感器、MEMS壓力傳感器、MEMS陀螺儀、MEMS濕度傳感器、MEMS氣體傳感器等等以及它們的集成產(chǎn)品。

ATA-2000系列高壓放大器在MEMS光柵控制驅(qū)動測試中的典型應(yīng)用實(shí)例:

MEMS光柵應(yīng)用測試:

    MEMS光柵采用了硅微加工工藝技術(shù),在外力作用下使光柵的某些特征參數(shù)(如周期、光柵等常數(shù))發(fā)生改變,從而實(shí)時(shí)改變光柵的工作性能,實(shí)現(xiàn)光柵的可編程應(yīng)用。基于其獨(dú)特的優(yōu)勢,MEMS光柵已經(jīng)用于光通信、高清顯示設(shè)備、光譜分析等領(lǐng)域。MEMS光柵具有多種驅(qū)動方式,而靜電驅(qū)動的 MEMS光柵, 由于其工藝易于實(shí)現(xiàn)、耗能低、頻率響應(yīng)高,因此是很常用的驅(qū)動方式。有名的光柵光閥(GLV)和氣體探測器(Polychromix) 都是采用靜電驅(qū)動的。 靜電驅(qū)動的可編程光柵還存在某些不足。靜電驅(qū)動的能量密度較小,當(dāng)結(jié)構(gòu)需要比較大的工作 位移(微米級),就必須增大驅(qū)動電壓,驅(qū)動電壓甚 至達(dá)到上百伏。當(dāng)結(jié)構(gòu)受靜電力作用,由于機(jī)械結(jié)構(gòu)特有的慣性而產(chǎn)生彈性振蕩,增大系統(tǒng)延遲。實(shí)際工作時(shí),光柵等效電容會隨光柵梁位移的改變而變化,導(dǎo)致驅(qū)動電路容性負(fù)載的變化。這些都為設(shè)計(jì)驅(qū)動電路帶來困難。 因此,MEMS光柵的工作性能很大程度上依賴于驅(qū)動放大器的性能。

MEMS測試功率放大器:

深圳市華瑞高電子技術(shù)有限公司代理的ATA-2000系列高壓放大器提供了DC-2MHz的帶寬,170Vpp~1600Vpp的輸出電壓范圍,40mA~500mA的電流輸出能力,是新型的MEMS相關(guān)應(yīng)用的動態(tài)驅(qū)動研發(fā)測試的理想選擇。

   (ATA-2000系列高壓放大器在MEMS光柵控制驅(qū)動測試中的典型應(yīng)用的波形圖)

       ATA-2000系列高壓放大器,可以輸出理想的單端及差分信號,為MEMS領(lǐng)域的研究提供了快捷的工具。同時(shí)該系列功率放大器,設(shè)計(jì)了良好的過壓,過流,短路保護(hù)裝置,同時(shí)為了更好的為MEMS測試客戶應(yīng)用,提供的完善的阻抗匹配網(wǎng)絡(luò),方便用戶選擇對應(yīng)的匹配阻抗。

                                                 (ATA-2000系列高壓放大器在MEMS光柵控制驅(qū)動測試中的典型應(yīng)用屏幕界面)

      ATA-2000系列高壓放大器的增益數(shù)控可調(diào),通過0.1的步進(jìn)對于信號進(jìn)行精準(zhǔn)放大,方便用戶調(diào)試。同時(shí)具有100:1的信號監(jiān)控口,方便用戶實(shí)時(shí)觀測輸出波形的變化。采用液晶顯示,操作簡單易懂,ATA-2000系列高壓放大器在MEMS光柵控制驅(qū)動測試中的典型應(yīng)用。

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