微機(jī)電系統(tǒng)（MEMS, Micro-Electro-Mechanical System），也叫做微電子機(jī)械系統(tǒng)、微系統(tǒng)、微機(jī)械等，是在微電子技術(shù)（半導(dǎo)體制造技術(shù)）基礎(chǔ)上發(fā)展起來的，融合了光刻、腐蝕、薄膜、LIGA、硅微加工、非硅微加工和精密機(jī)械加工等技術(shù)制作的高科技電子機(jī)械器件。
ATA-2000系列高壓放大器在MEMS光柵控制驅(qū)動測試中的典型應(yīng)用的原理:
微機(jī)電系統(tǒng)是集微傳感器、微執(zhí)行器、微機(jī)械結(jié)構(gòu)、微電源微能源、信號處理和控制電路、高性能電子集成器件、接口、通信等于一體的微型器件或系統(tǒng)。MEMS是一項(xiàng)創(chuàng)造性的新技術(shù)，廣泛應(yīng)用于高新技術(shù)產(chǎn)業(yè)，是一項(xiàng)關(guān)系到國家的科技發(fā)展、經(jīng)濟(jì)繁榮和國防科技的關(guān)鍵技術(shù)。
MEMS側(cè)重于超精密機(jī)械加工，涉及微電子、材料、力學(xué)、化學(xué)、機(jī)械學(xué)諸多學(xué)科領(lǐng)域。它的學(xué)科面涵蓋微尺度下的力、電、光、磁、聲、表面等物理、化學(xué)、機(jī)械學(xué)的各分支。
MEMS是一個(gè)獨(dú)立的智能系統(tǒng)，可大批量生產(chǎn)，其系統(tǒng)尺寸在幾毫米乃至更小，其內(nèi)部結(jié)構(gòu)一般在微米甚至納米量級。常見的產(chǎn)品包括MEMS加速度計(jì)、MEMS麥克風(fēng)、微馬達(dá)、微泵、微振子、MEMS光學(xué)傳感器、MEMS壓力傳感器、MEMS陀螺儀、MEMS濕度傳感器、MEMS氣體傳感器等等以及它們的集成產(chǎn)品。
ATA-2000系列高壓放大器在MEMS光柵控制驅(qū)動測試中的典型應(yīng)用實(shí)例：
MEMS光柵應(yīng)用測試：
MEMS光柵采用了硅微加工工藝技術(shù)，在外力作用下使光柵的某些特征參數(shù)（如周期、光柵等常數(shù)）發(fā)生改變，從而實(shí)時(shí)改變光柵的工作性能，實(shí)現(xiàn)光柵的可編程應(yīng)用。基于其獨(dú)特的優(yōu)勢，MEMS光柵已經(jīng)用于光通信、高清顯示設(shè)備、光譜分析等領(lǐng)域。MEMS光柵具有多種驅(qū)動方式，而靜電驅(qū)動的 MEMS光柵， 由于其工藝易于實(shí)現(xiàn)、耗能低、頻率響應(yīng)高，因此是很常用的驅(qū)動方式。有名的光柵光閥（GLV）和氣體探測器（Polychromix） 都是采用靜電驅(qū)動的。 靜電驅(qū)動的可編程光柵還存在某些不足。靜電驅(qū)動的能量密度較小，當(dāng)結(jié)構(gòu)需要比較大的工作 位移（微米級），就必須增大驅(qū)動電壓，驅(qū)動電壓甚 至達(dá)到上百伏。當(dāng)結(jié)構(gòu)受靜電力作用，由于機(jī)械結(jié)構(gòu)特有的慣性而產(chǎn)生彈性振蕩，增大系統(tǒng)延遲。實(shí)際工作時(shí)，光柵等效電容會隨光柵梁位移的改變而變化，導(dǎo)致驅(qū)動電路容性負(fù)載的變化。這些都為設(shè)計(jì)驅(qū)動電路帶來困難。 因此，MEMS光柵的工作性能很大程度上依賴于驅(qū)動放大器的性能。
MEMS測試功率放大器：
深圳市華瑞高電子技術(shù)有限公司代理的ATA-2000系列高壓放大器提供了DC-2MHz的帶寬，170Vpp~1600Vpp的輸出電壓范圍，40mA~500mA的電流輸出能力，是新型的MEMS相關(guān)應(yīng)用的動態(tài)驅(qū)動研發(fā)測試的理想選擇。
（ATA-2000系列高壓放大器在MEMS光柵控制驅(qū)動測試中的典型應(yīng)用的波形圖）
ATA-2000系列高壓放大器，可以輸出理想的單端及差分信號，為MEMS領(lǐng)域的研究提供了快捷的工具。同時(shí)該系列功率放大器，設(shè)計(jì)了良好的過壓，過流，短路保護(hù)裝置，同時(shí)為了更好的為MEMS測試客戶應(yīng)用，提供的完善的阻抗匹配網(wǎng)絡(luò)，方便用戶選擇對應(yīng)的匹配阻抗。
（ATA-2000系列高壓放大器在MEMS光柵控制驅(qū)動測試中的典型應(yīng)用屏幕界面）
ATA-2000系列高壓放大器的增益數(shù)控可調(diào)，通過0.1的步進(jìn)對于信號進(jìn)行精準(zhǔn)放大，方便用戶調(diào)試。同時(shí)具有100:1的信號監(jiān)控口，方便用戶實(shí)時(shí)觀測輸出波形的變化。采用液晶顯示，操作簡單易懂，ATA-2000系列高壓放大器在MEMS光柵控制驅(qū)動測試中的典型應(yīng)用。
